特許
J-GLOBAL ID：200903000858273175
非線形抵抗素子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-219829
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083942
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【構成】 基板1の上に設ける下部電極2と、下部電極2の上部に設ける第1の絶縁膜3と、下部電極2の側面部に設け第1の絶縁膜3より膜厚の薄い第2の絶縁膜4と、下部電極2の両側面部から上部に重なるように設ける上部電極5とを備えることを特徴とする非線形抵抗素子およびその製造方法。【効果】 上下の電極はお互いにクロスオーバーする位置関係にあることから上部電極のパターニングにずれが生じても、下部電極上部の第1の絶縁膜と上部電極との接触面積は一定に保つことができる。このため第1の絶縁膜のもつ電気容量値のばらつき起因する表示品質の劣化を抑えることができる。
請求項（抜粋）：
基板の上に設ける下部電極と、下部電極の上部に設ける第1の絶縁膜と、下部電極の側面部に設け第1の絶縁膜より膜厚の薄い第2の絶縁膜と、下部電極の両側面部から上部に重なるように設ける上部電極とを備えることを特徴とする非線形抵抗素子。
IPC (2件)：
H01L 49/02
, G02F 1/136 510
