特許
J-GLOBAL ID:200903000861315946
表示装置の製造方法および表示装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
船橋 國則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-347115
公開番号(公開出願番号):特開2003-249357
出願日: 2002年11月29日
公開日(公表日): 2003年09月05日
要約:
【要約】【課題】 量産性に優れ、かつ有機層へのダメージを防止した上部電極の形成を可能にすることで長期信頼性にも優れた表示装置の製造方法および表示装置を提供する。【解決手段】 基板2上に下部電極4、発光層を含む有機層5、および上部電極6がこの順に積層され、上部電極側6から発光光を取り出す上面発光型の表示装置1の製造方法であって、基板2上に下部電極4を形成し、下部電極4上に発光層を含む有機層5を形成した後、有機層5上にリチウムを含有する上部電極6を陰極としてスパッタ法によって7nm〜21nmの膜厚で形成する。上部電極6は、リチウムの組成比が0.1重量%〜1.9重量%であることとする。また、スパッタ法による上部電極6の形成は、50nm/min以下の成膜速度で行われることとする。
請求項(抜粋):
基板上に下部電極、発光層を含む有機層、および上部電極がこの順に積層され、当該上部電極側から発光光を取り出す上面発光型の表示装置の製造方法であって、基板上に下部電極を形成し、当該下部電極上に発光層を含む有機層を形成した後、スパッタ法によって当該有機層上にリチウムを含有する上部電極を陰極として形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
IPC (3件):
H05B 33/10
, H05B 33/14
, H05B 33/26
FI (3件):
H05B 33/10
, H05B 33/14 A
, H05B 33/26 Z
Fターム (8件):
3K007AB02
, 3K007AB03
, 3K007AB11
, 3K007AB18
, 3K007CB00
, 3K007CB01
, 3K007DB03
, 3K007FA01
引用特許:
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