特許
J-GLOBAL ID：200903000879396595
表面形状測定装置および表面形状測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
落合 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-194675
公開番号（公開出願番号）：特開2004-037251
出願日： 2002年07月03日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】測定面の傾斜方向に拘わらず、傾斜誤差を低減できる表面形状測定装置および表面形状測定方法を提供する。【解決手段】測定対象物の測定面の測定点に照射光を照射する照射手段と、前記測定点からの反射光を受光し、その反射光をn個(nは2以上の整数)に分割した分割光の受光量差に基づいて、基準位置からの前記測定点の変位を焦点誤差として検出する変位検出手段と、を備え、焦点誤差検出方法を用いて、前記測定面の表面形状を測定する表面形状測定装置であって、前記変位検出手段は、前記測定面の傾斜方向を検出する傾斜方向検出手段と、検出された前記傾斜方向に基づいて、前記測定点の変位がないときの前記焦点誤差が小さくなるように前記受光量差を調整する受光量差調整手段と、を有することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
測定対象物の測定面の測定点に照射光を照射する照射手段と、
前記測定点からの反射光を受光し、その反射光をn個(nは2以上の整数)に分割した分割光の受光量差に基づいて、基準位置からの前記測定点の変位を焦点誤差として検出する変位検出手段と、
を備え、焦点誤差検出方法を用いて、前記測定面の表面形状を測定する表面形状測定装置であって、
前記変位検出手段は、
前記測定面の傾斜方向を検出する傾斜方向検出手段と、
検出された前記傾斜方向に基づいて、前記測定点の変位がないときに検出される前記焦点誤差が小さくなるように前記受光量差を調整する受光量差調整手段と、
を有することを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B11/24
, G01B11/00
, G01B11/26
G01B11/24 A
, G01B11/00 Z
, G01B11/26 H
2F065AA31
, 2F065AA51
, 2F065AA65
, 2F065FF04
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065HH04
, 2F065JJ05
, 2F065JJ18
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL08
, 2F065LL46
, 2F065QQ03
, 2F065QQ24
, 2F065SS01
