特許
J-GLOBAL ID：200903000903024718
3次元形状物検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村瀬 一美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-149750
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344360
出願日： 2002年05月23日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：
【要約】【課題】 走査距離および操作時間を短縮することによりプローブと3次元形状物の表面との間のリフトオフが変化するのを抑えてノイズを軽減させる。【解決手段】 例えばガスタービン動翼といった3次元形状物2の表面の曲率変化に追従して撓む柔軟性のある基板3と、この基板3上に規則的に配列された複数のセンサコイル4と、これらセンサコイル4を3次元形状物2の表面に押し付け各センサコイル4と3次元形状物表面との間の間隔を一定に保持する押圧手段5とを備えたフレキシブルアレイプローブ1を有し、該フレキシブルアレイプローブ1を3次元形状物2の表面に沿って移動させたときのセンサコイル4の検出信号の変化に基づき3次元形状物2に生じているき裂を検出しあるいはき裂深さを推定する。
請求項（抜粋）：
3次元形状物に生じているき裂を渦電流試験法により非破壊で検出しあるいはき裂深さを推定する3次元形状物検査装置において、前記3次元形状物の表面の曲率変化に追従して撓む柔軟性のある基板と、この基板上に規則的に配列された複数のセンサコイルと、これらセンサコイルを前記3次元形状物の表面に押し付け各センサコイルと3次元形状物表面との間の間隔を一定に保持する押圧手段とを備えたフレキシブルアレイプローブを有し、該フレキシブルアレイプローブを前記3次元形状物の表面に沿って移動させたときの前記センサコイルの検出信号の変化に基づき前記3次元形状物に生じているき裂を検出しあるいはき裂深さを推定することを特徴とする3次元形状物検査装置。
Fターム (11件)：
2G053AA11
, 2G053AB21
, 2G053BA11
, 2G053BA24
, 2G053BB11
, 2G053BC02
, 2G053BC14
, 2G053CA03
, 2G053CA17
, 2G053DA01
, 2G053DB03
