特許
J-GLOBAL ID：200903000934426342
光情報記録媒体の原盤の製造方法、光情報記録媒体のスタンパの製造方法、光情報記録媒体の原盤、スタンパおよび光情報記録媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小野 由己男
, 稲積 朋子
, 渡辺 尚
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-353018
公開番号（公開出願番号）：特開2005-203077
出願日： 2004年12月06日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 レジストとして無機材料を用いた場合でも、スタンパの側に所定の凹凸パターンを転写する際において無機材料の状態変化を抑えて凹凸パターンの形状を良好な状態に保つことができる光情報記録媒体の原盤の製造方法、光情報記録媒体のスタンパの製造方法、光情報記録媒体の原盤、スタンパおよび光情報記録媒体を提供することを解決すべき課題とする。【解決手段】 光情報記録媒体のスタンパに対して所定の凹凸パターンを転写するための光情報記録媒体の原盤106の製造方法であって、露光処理が施されることで状態変化する無機材料を含むレジスト102を基板101上に形成し、レジスト102に露光処理および現像処理を施すことによって凹凸パターン部分を形成し、この凹凸パターン部分の上に無機隔離層107を形成することにより光情報記録媒体の原盤106を製造する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光情報記録媒体のスタンパに対して所定の凹凸パターンを転写するための光情報記録媒体の原盤の製造方法であって、
露光処理が施されることで状態変化する第1無機材料を含むレジストを基板上に形成し、
前記レジストに前記露光処理および現像処理を施すことによって凹凸パターン部分を形成し、
前記凹凸パターン部分の上に隔離層を形成することを特徴とする光情報記録媒体の原盤の製造方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G11B7/26 501
, G11B7/26 511
5D121BA03
, 5D121BA05
, 5D121BB06
, 5D121CB06
, 5D121CB07
