特許
J-GLOBAL ID：200903000983405431

パターンデータ密度検査装置及び密度検査方法並びにパターンデータ密度検査プログラムが記憶された記録媒体

発明者：
浜元 剛

浜元 剛 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 高橋 詔男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-234788
公開番号（公開出願番号）：特開2001-060212
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：
【要約】【課題】 パターンデータ密度エラー領域の検出精度を向上させ、修正する必要のないパターンデータ密度エラー領域の検出を行わず、設計者の修正作業が能率よく行える検出結果を出力するパターンデータ密度検査装置を提供する。【解決手段】 制御部1は、レイアウト記憶部2からレイアウトデータを読み出し、入力処理部3及び出力処理部7へ記憶させる。データ密度計算処理部4は、入力処理部3のレイアウトデータを直前にパターンデータを演算した位置から、X軸方向又はY軸方向の何れかに検出範囲をずらし、移動後の検出範囲のパターン密度の計算を行い、パターンデータ密度が50%以上か否かの判定を行い、50%以上を仮エラー領域とする。エラー重なり除去処理部5は、仮エラー領域の論理和を取り、集合仮エラー領域を生成し、エラー領域幅計算処理部6は集合仮エラー領域が、400μm□のエラー判定基準形状を含むエラー形状か否かの判定を行う。
請求項（抜粋）：
所定の面積の検出範囲をオーバーラップするように所定の距離ずらす毎に、この検出範囲内の配線のパターンデータの合計面積の、前記面積における比を示すパターンデータ密度を求めるパターンデータ密度演算手段と、前記パターンデータ密度が予め設定されたしきい値以上となる前記検出範囲の論理和をとり、仮パターンデータ密度エラー領域を求める仮エラー領域検出手段と、平面視において、予め設定されたパターンデータ密度エラー図形が完全に含まれる形状の前記仮パターンデータ密度エラー領域を、パターンデータ密度エラー領域とするエラー領域検出手段とを具備することを特徴とするパターンデータ密度検査装置。
IPC (2件)：
G06F 17/50 ,  H01L 21/82
FI (3件)：
G06F 15/60 666 S ,  G06F 15/60 666 Z ,  H01L 21/82 C
Fターム (9件)：
5B046AA08 ,  5B046BA05 ,  5B046HA09 ,  5B046JA02 ,  5F064HH06 ,  5F064HH10 ,  5F064HH15 ,  5F064HH17 ,  5F064HH19
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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