特許

J-GLOBAL ID：200903001058168841

除振装置及び露光装置

発明者： 森 太 ,  高橋 正人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-168366
公開番号（公開出願番号）：特開平9-330874
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】 ステージ移動位置の影響を受けることなく、外乱振動の抑制(制振)効果を向上させる。【解決手段】 ステージの移動により装置本体40が振動すると、この振動が加速度センサ5で検出され、本体40の変位が変位センサ10で検出される。また、ステージの移動位置は干渉計30X,30Yにより計測される。ステージの加減速時には、CF演算部66では干渉計30X,30Yの出力に基づいてステージの位置の変動による装置本体40の加振量を予め予測し、この結果に基づいて本体40のヨーイングを抑制するのに最適なカウンターフォースの指令値を振動制御系にフィードフォワード入力する。振動制御系では各センサの出力、及びフィードフォワード入力された指令値に基づいてアクチュエータ7A〜7D,32A〜32Cを駆動制御する。

請求項（抜粋）：

少なくとも3個の除振パッドを介して水平に保持された除振台と;前記除振台上で移動する少なくとも一つのステージと;前記除振台を異なる箇所で鉛直方向に駆動する少なくとも3つのアクチュエータを含む複数のアクチュエータと;前記除振台の変位を検出する1又は2以上の変位センサと;前記除振台の振動を検出する1又は2以上の振動センサと;前記変位センサ及び振動センサの出力に基づいて前記除振台の振動を抑制するように前記各アクチュエータを駆動制御する振動制御系と;前記各ステージの移動位置を計測する位置計測手段と;前記ステージ加減速に伴う反力による前記除振台を含む装置本体の加振を防ぐため、その反力と逆向きの力であるカウンターフォースの指令値を前記振動制御系にフィードフォワード入力する振動補償系とを備え、前記振動補償系は、前記ステージの加減速時に、前記位置計測手段の出力に基づいてステージの位置の変動による前記装置本体の加振量を予め予測し、この予測結果に基づいて前記装置本体のヨーイングを抑制するのに最適なカウンターフォースの指令値を前記振動制御系にフィードフォワード入力することを特徴とする除振装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 503 F ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 B ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 518

引用特許：

出願人引用 (4件)

• アクティブ除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-257527   出願人：キヤノン株式会社
• アクティブ除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-134913   出願人：キヤノン株式会社
• ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-014419   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-307091