特許
J-GLOBAL ID：200903001085809522

極端紫外光源装置の初期アライメント方法

発明者：
阿部 保

阿部 保 について

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星野 秀往

星野 秀往 について

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染谷 浩

染谷 浩 について

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ゲオルグ・スマン

ゲオルグ・スマン について

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菅沼 崇

菅沼 崇 について

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住谷 明

住谷 明 について

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若林 理

若林 理 について


出願人/特許権者：
株式会社小松製作所

株式会社小松製作所 について

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ギガフォトン株式会社

ギガフォトン株式会社 について


代理人 (3件)： 宇都宮 正明 ,  渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-297188
公開番号（公開出願番号）：特開2007-109451
出願日： 2005年10月12日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：
【課題】LPP型極端紫外光源装置において効率良くEUV光を発生させると共に、発生したEUV光を露光装置において効率良く利用する。【解決手段】理想発光点に第1の位置基準素子を配置し、理想集光点に第2の位置基準素子を配置する。第1の光軸調整光が第1の位置基準素子及び第2の位置基準素子を通過する第1の光軸調整光の光路を調整すると共に、第2の光軸調整光が第1の位置基準素子を通過して第2の位置基準素子を通過しないように第2の光軸調整光の光路を調整して、レーザ光が第1の位置基準素子を照射するように光路を調整するとともに、ターゲット物質が第1の光軸調整光と第2の光軸調整光との交点を通るように、ターゲット物質の位置合わせを行い、プラズマから発生する極端紫外光が集光ミラーによって第2の位置基準素子の位置に集光されるように、集光ミラーの位置及び姿勢を調整する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
真空チャンバの内部に供給されたターゲット物質に、該ターゲット物質を励起させるためのレーザ光を照射することによりプラズマを生成し、該プラズマから発生する極端紫外光を集光ミラーによって所定の位置に集光するレーザ励起プラズマ方式による極端紫外光源装置のアライメント方法であって、 プラズマを生成すべき位置である理想発光点に第1の位置基準素子を配置し、プラズマから発生した光を集光すべき位置である理想集光点に第2の位置基準素子を配置するステップ(a)と、 第1の光軸調整光が前記第1の位置基準素子及び前記第2の位置基準素子を通過するように、該第1の光軸調整光の光路を調整すると共に、第2の光軸調整光が前記第1の位置基準素子を通過して前記第2の位置基準素子を通過しないように、該第2の光軸調整光の光路を調整するステップ(b)と、 ターゲット励起用レーザ発振器からレーザ光を射出し、該レーザ光が集光素子を介して前記第1の位置基準素子を照射するように、前記集光素子の位置及び姿勢を調整するステップ(c)と、 前記第1の位置基準素子を退避させた状態で、前記真空チャンバの内部にノズルを用いてターゲット物質を供給し、該ターゲット物質が、第1の光軸調整光と第2の光軸調整光との交点を通るように、前記ノズルの位置及び姿勢を調整するステップ(d)と、 前記第1及び第2の光軸調整光の射出を停止した状態で、ターゲット励起用レーザ発振器からレーザ光を射出するステップ(e)と、 該レーザ光をターゲット物質に照射することにより生成されたプラズマから発生する極端紫外光が、前記集光ミラーによって前記第2の位置基準素子の位置に集光されるように、前記集光ミラーの位置及び姿勢を調整するステップ(f)と、 を具備する極端紫外光源装置のアライメント方法。
IPC (2件)：
H05G 2/00 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
H05G1/00 K ,  H01L21/30 531S
Fターム (6件)：
4C092AA06 ,  4C092AB10 ,  4C092AB21 ,  4C092AC09 ,  4C092BD11 ,  5F046GC03
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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