走査型電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-407984
公開番号（公開出願番号）：特開2005-174555
出願日： 2003年12月05日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】走査型電子顕微鏡において、試料のスリミングを低減し、視認性のよい最適な画質が得られる画像処理方法を提供する。【解決手段】フレーム積算数を減らすことによって、スリミングを低減させる。フレーム積算数が減少すると、2次電子検出量が減少するためプローブ電流量の増加により2次電子検出量を増加させる。電子線走査を行い、ヒストグラムを作成し(S12)、ヒストグラムを2次微分することによって(S13)、試料像のコントラストが変化する階調とプローブ電流量を算出する(S16)。算出したプローブ電流量に適した積算フレーム数と、試料像に適したコントラストを調整することにより(S17)、試料のスリミングを抑え、視認性のよい最適な試料画像を得て測長する(S18)。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

電子線源と、前記電子線源より放出された一次電子線を試料表面上に収束するレンズ系と、前記収束された一次電子線を試料表面上で二次元的に走査する走査部と、電子線照射により試料から発生する二次信号を検出する検出器と、前記検出器の検出信号を増幅する増幅器と、前記増幅器で増幅された信号に基づいて試料像を形成する描画部と、制御演算部とを備え、前記制御演算部は、試料像の輝度ヒストグラムを作成し、前記輝度ヒストグラムから求められる画像の明るさが全階調幅の略中央に来るように前記一次電子線の電流値を制御し、画像の明るさに対応したコントラストが得られるように前記増幅器の増幅条件を制御することを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J37/28 , H01J37/22

FI (2件)：

H01J37/28 B , H01J37/22 502F

Fターム (3件)：

5C033UU02 , 5C033UU05 , 5C033UU06

引用特許：

出願人引用 (1件)

電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-027674 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (6件)

電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-342713 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-209457
自動コントラスト・ブライトネス調整装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-055765 出願人：株式会社島津製作所

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