特許
J-GLOBAL ID：200903001209076405
電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-279537
公開番号（公開出願番号）：特開2007-095335
出願日： 2005年09月27日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：
【課題】 望ましくない収差の混入を防いで、効率良く動作する球面収差補正系を有する電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 伝達光学系14は、例えば磁界型レンズからなる第1のレンズ14a及び第2のレンズ14bを用いてなり、球面収差補正装置13と対物レンズ15との間に挿入される。第1のレンズ14aには多極子内において軸から距離r0を通過する電子が入射され、第2のレンズ14bには対物レンズに対する入射点の光軸からの距離r1で電子が入射される。この距離r0と距離r1の比Mは1以上とされる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
多極子を用いてなる球面収差補正装置と対物レンズを有する電子顕微鏡において、
前記多極子と前記対物レンズとの間に伝達光学系を設け、当該伝達光学系にあっては前記多極子内において光軸から距離r0を通過する電子の前記対物レンズに対する入射点の光軸からの距離r1の比(M=r1/r0)を1以上として、
前記球面収差補正装置からの寄与Xoを含む前記対物レンズの球面収差係数Cstが所定値以下となるように、前記多極子のコイル電流Iおよび多極子のボア半径bの少なくとも一つを定めること
を特徴とする電子顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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