特許
J-GLOBAL ID：200903001292531283
共焦点用光学走査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-527837
公開番号（公開出願番号）：特表2004-509370
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
光源からの照射光線束FXを観察物体1107上の照射点FXOに集束して該物体からの光線束FEを第一像面P1上の光点FEOに集束するように調整された光学系と、観察面に沿って観察物体1107を走査するように照射光線束を反射する一方で光点FEOを第一像面上の固定点に導くために光線束FEを反射する回転可能に装着された可動ミラー1104と、光点FEOを濾光可能に調整して検出対象光線束FDだけが得られるようにする第一像面上の第一空間濾光系とを設けて共焦点走査装置を構成する。このとき、回転する前記可動ミラー1104上に観察対象光線束FDを送り返すように光学系ならびに第一空間濾光系1203を調整する。さらに、第二像面P2上の検出対象点FDOに前記観察対象光線束FDを集束させると共に、物体の観察面における被照射点の変位に比例する前記検出対象点の変位を前記第二像面において得られるように上記光学系を調節する。
請求項（抜粋）：
光源(1100)によって照射される観察物体(1107)の画像を得るために使用される共焦点用光学走査装置であって、
前記光源からの照射光線束(FX)を、照射されない区域に囲まれた少なくとも一つの孤立した照射点(FXO)、即ち前記観察物体(1107)の一点を照射するための少なくとも一つの照射点に集束させると共に、前記物体(1107)の被照射点からの戻り光線束(FE)を第一像面(P1)の光点(FEO)に集束させるように調整された光学系を具備し、
回転可能に装着された、前記照射光線束(FX)及び前記物体の被照射点からの戻り光線束(FE)を反射するための少なくとも一枚の可動ミラー(1104)を具備して、該可動ミラーは、前記少なくとも一つの照射点(FXO)が前記観察すべき物体(1107)を観察面に沿って走査できるように前記照射光線束を反射し、前記光点(FEO)が前記第一像面(P1)の一点に導かれるように前記戻り光線束を反射するよう設けられ、
さらに、前記第一像面(P1)に配置されると共に、検出対象光線束(FO)だけを得るために前記光点(FEO)を濾光できるように調整された第一の空間濾光系(1203)を具備してなる共焦点用光学走査装置において、
前記検出対象光線束(FD)を前記回転する可動ミラー(1104)上に送り返すように前記光学系と前記空間濾光系(1203)とが調整され、かつ、前記光学系がさらに、前記可動ミラーで反射された前記検出対象光線束(FD)を第二像面(P2)内の一つの検出対象点に集束し、且つ物体観察面における被照射点(FDO)の変位に比例する前記検出対象点(FDO)の変位を前記第二像面(P2)において求めることができるように調整されていることを特徴とする共焦点用光学走査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AB14
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC18
, 2H052AC34
, 2H052AD31
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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