特許
J-GLOBAL ID：200903001298426830
電子ビームコラム用成形陰影投影
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-551766
公開番号（公開出願番号）：特表2002-511197
出願日： 1999年04月05日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：
【要約】成形電子ビームコラムは電子源(102)からの電子を結像し、成形アパーチャ(104)の陰影像(114)を書込面(108)上に形成する。成形アパーチャの陰影像は成形アパーチャのデフォーカス像である。このデフォーカス陰影像は成形電子ビームコラムの対物面(112)内にある。書込面内の陰影像がデフォーカスされるのは、電子ビームレンズ(106)が電子源の集束像を書込面から離れた位置に形成するからである。書込面上の陰影像の大きさは、電子ビームレンズを調節し、電子源像と書込面間の距離、即ちデフォーカスを変えることにより変更できる。従って、通常の電子ビームコラムに較べて大きな成形アパーチャを使用できる。さらに、総リニア縮小率を小さくできるため、成形電子ビームコラムの長さを低減できる。その結果、電子-電子相互作用が低減され、書込面上の像のエッジ解像度が向上し、成形電子ビームコラム内の電流が増大でき、スループットが向上する。
請求項（抜粋）：
電子を発生する電子源と、電子の通過路中に配置された成形アパーチャと、成形アパーチャを通過する電子を電子源像に結像する電子ビームレンズと、書込面を有した成形電子ビームコラムにおいて、 電子は対物面内に成形アパーチャの陰影を形成し、前記成形アパーチャの陰影像が書込面に形成される、成形電子ビームコラム。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 1/08
, G03F 7/20 504
, H01J 37/305
G03F 1/08 C
, G03F 7/20 504
, H01J 37/305 B
, H01L 21/30 541 B
