特許

J-GLOBAL ID：200903001299837604

圧電体積層体、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子および圧電アクチュエータ

発明者： 上野 真由美 ,  樋口 天光 ,  木島 健
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  伊奈 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-113494
公開番号（公開出願番号）：特開2007-184513
出願日： 2006年04月17日
公開日（公表日）： 2007年07月19日
要約：

【課題】基体上にニオブ酸カリウムナトリウムからなる圧電体層が形成された圧電体積層体を提供する。【解決手段】圧電体積層体100は、基体1と、前記基体1の上方に形成された、ニオブ酸カリウムナトリウムからなる第1圧電体層3と、を含む。前記第1圧電体層3は、組成式(KaNa1-a)xNbO3で表され、該組成式において、0.1<a<1であり、1≦x≦1.2であることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基体と、 前記基体の上方に形成された、ニオブ酸カリウムナトリウムからなる第1圧電体層と、を含む、圧電体積層体。

IPC (6件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H03H 9/25 ,  H03H 9/17

FI (7件)：

H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/08 J ,  H03H9/25 C ,  H03H9/17 F

Fターム (11件)：

5J097AA28 ,  5J097BB11 ,  5J097EE08 ,  5J097FF01 ,  5J097HA03 ,  5J097HB08 ,  5J097KK09 ,  5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108EE04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 弾性表面波基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-250777   出願人：山之内和彦

審査官引用 (3件)

• 弾性表面波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-080550   出願人：ヤマハ株式会社
• 圧電/電歪膜型素子及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-155798   出願人：日本碍子株式会社
• 強誘電体デバイスの作製方法、およびそれを用いた強誘電体メモリ、圧電素子、インクジェット式ヘッドおよびインクジェットプリンタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-258874   出願人：セイコーエプソン株式会社