弾性表面波素子

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-080550
公開番号（公開出願番号）：特開2000-278084
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】電気機械結合係数K2 を大きくすることにより広帯域化と高効率化が図れ、保存安定性に優れた弾性表面波素子を提供する。【解決手段】 K1-xNaxNbO3 に対する格子整合性を持つSrTiO3 等の単結晶バルク材料からなる下地基板12の上に、K1-xNaxNbO3 単結晶からなる厚さ500nm程度の圧電体層13が積層されている。そして、圧電体層13の上面にAl等の金属からなるすだれ状の入力側電極14a、出力側電極14bが形成されている。

請求項（抜粋）：

一般式がK1-xZxNbO3 (Z:KとFrを除く周期律1族の元素、x:0.0001≦x≦0.5の範囲の数値)で表される単結晶が成長するようなバルク材料からなる下地基板と、該下地基板上に積層された前記K1-xZxNbO3 単結晶からなる圧電体層と、該圧電体層の上面または下面に設けられた電極層、を有することを特徴とする弾性表面波素子。

Fターム (16件)：

5J097AA06 , 5J097AA19 , 5J097AA21 , 5J097AA23 , 5J097AA29 , 5J097AA32 , 5J097BB08 , 5J097BB11 , 5J097EE08 , 5J097EE10 , 5J097FF01 , 5J097FF02 , 5J097HA03 , 5J097HB08 , 5J097KK06 , 5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (7件)

弾性表面波基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-250777 出願人：山之内和彦
表面弾性波装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-130449 出願人：ティーディーケイ株式会社
弾性表面波モジュール素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-184844 出願人：松下電器産業株式会社

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