特許
J-GLOBAL ID：200903001334896775

片面移動式プローブを用いた4端子検査方法及び4端子検査用治具

発明者：
須藤 守四郎

須藤 守四郎 について

, 
桑原 宏幸

桑原 宏幸 について


出願人/特許権者：
富士通オートメーション株式会社

富士通オートメーション株式会社 について


代理人 (4件)： 眞鍋 潔 ,  柏谷 昭司 ,  渡邊 弘一 ,  伊藤 壽郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-135550
公開番号（公開出願番号）：特開2005-315775
出願日： 2004年04月30日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】 片面移動式プローブを用いた4端子検査方法及び4端子検査用治具に関し、簡単な装置構成で基板表裏間の断線・ビア欠陥を高精度で検査する。【解決手段】 被測定対象基板7の表裏に設けたパッド8,9間の電気的特性を片面移動式プローブ10を用いて4端子検査する際に、被測定対象基板7の裏面側に設けたパッド9に当接させる電圧測定用プローブ3を検査用治具の表面側に設けた擬似パッド5を介して電圧測定手段に接続する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被測定対象基板の表裏に設けたパッド間の電気的特性を片面移動式プローブを用いて4端子検査する際に、前記被測定対象基板の裏面側に設けたパッドに当接させる電圧測定用プローブを検査用治具の表面側に設けた擬似パッドを介して電圧測定手段に接続したことを特徴とする片面移動式プローブを用いた4端子検査方法。
IPC (4件)：
G01R1/073 ,  G01R31/02 ,  G01R31/28 ,  H05K3/00
FI (4件)：
G01R1/073 A ,  G01R31/02 ,  H05K3/00 T ,  G01R31/28 K
Fターム (13件)：
2G011AA13 ,  2G011AC09 ,  2G011AE01 ,  2G011AF06 ,  2G014AA02 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10 ,  2G132AA20 ,  2G132AD15 ,  2G132AF02 ,  2G132AF06 ,  2G132AF07 ,  2G132AL03
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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