特許

J-GLOBAL ID：200903001339199959

近赤外光検出素子

発明者： ▲高▼野 仁路 ,  鈴木 裕二
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (2件)： 西川 惠清 ,  森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-195567
公開番号（公開出願番号）：特開2007-013065
出願日： 2005年07月04日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：

【課題】応答速度の高速化を図れ且つ製造が容易な近赤外光検出素子を提供する。 【解決手段】半導体基板1の一表面側に形成されp形領域61とn形領域63との間にドリフト領域であるi層62が介在するpinフォトダイオードのフォトダイオード構造を有し近赤外光を吸収して電子・正孔対が発生する光電変換部6と、光電変換部6の受光面に積層され当該受光面に平行な2次元面内に屈折率周期構造を有するスラブ型フォトニック結晶であって上記受光面に交差する方向から入射される検出対象の近赤外光の波長帯に対して共振ピークを有するように屈折率周期構造が設計されたスラブ型フォトニック結晶7とを備えている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体基板の一表面側に形成されp形領域とn形領域との間にドリフト領域が設けられたフォトダイオード構造を有し近赤外光を吸収して電子・正孔対が発生する光電変換部と、光電変換部の受光面に積層され若しくは光電変換部内における前記受光面側に形成され前記受光面に平行な2次元面内に屈折率周期構造を有するスラブ型フォトニック結晶であって前記受光面に交差する方向から入射される検出対象の近赤外光の波長帯に対して共振ピークを有するように屈折率周期構造が設計されたスラブ型フォトニック結晶とを備えてなることを特徴とする近赤外光検出素子。

IPC (1件)：

H01L 31/10

FI (1件)：

H01L31/10 A

Fターム (7件)：

5F049MA04 ,  5F049MB03 ,  5F049NA03 ,  5F049NB01 ,  5F049PA20 ,  5F049QA03 ,  5F049SZ08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 受光素子、光モジュール、及び光伝送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-395354   出願人：セイコーエプソン株式会社
• pin型半導体受光素子およびこれを含む半導体受光回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-283144   出願人：日本電信電話株式会社
• 半導体装置およびその製造方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-533382   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
• フォトニック結晶光回路及びその制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-019727   出願人：日本電気株式会社