特許
J-GLOBAL ID:200903001506113867
金属超微粒子分散液及びその製造方法並びに金属細線又は金属膜
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
東田 潔
, 山下 雅昭
, 打揚 洋次
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-280254
公開番号(公開出願番号):特開2004-119173
出願日: 2002年09月26日
公開日(公表日): 2004年04月15日
要約:
【課題】ハロゲン元素やアルカリ金属の含有量が少ない金属超微粒子分散液及びその製造方法、並びにこの分散液を用いて作製される金属細線又は金属膜の提供。【解決手段】ハロゲン元素及びアルカリ金属の含有量が、それぞれ、10ppm以下である金属超微粒子分散液。この超微粒子は、粒径100nm以下で且つ孤立状態で、アルキルアミン、カルボン酸アミド及びアミノカルボン酸塩から選ばれた少なくとも1種を分散剤として、有機溶媒中に分散されている。ガス中蒸発法により、10torr以下で、純度99.9999%以上の材質からなるルツボを用いて作製される。この分散液から金属配線や金属膜が作製される。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
不純物のハロゲン元素及びアルカリ金属の含有量が、それぞれ、10ppm以下であることを特徴とする金属超微粒子分散液。
IPC (3件):
H01B1/22
, H01B5/14
, H01B13/00
FI (3件):
H01B1/22 A
, H01B5/14 Z
, H01B13/00 503C
Fターム (8件):
5G301DA03
, 5G301DA05
, 5G301DD01
, 5G301DD02
, 5G301DE01
, 5G301DE03
, 5G307GA06
, 5G307GC02
引用特許:
前のページに戻る