特許
J-GLOBAL ID：200903001513654733
飛行時間型2次イオン質量分析装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-126895
公開番号（公開出願番号）：特開2008-282726
出願日： 2007年05月11日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：
【課題】試料から2次イオンを効率良く発生させて、試料を高感度で分析する。【解決手段】(1)イオン発生源と、パルス化手段と、ON状態の時にクラスターイオンの中から特定の質量数のイオンからなる測定用1次イオンを選別し、OFF状態の時にクラスターイオンを通過させる選別手段であって、ON状態とOFF状態を切り替えることが可能な選別手段とを有するイオン照射手段と、(2)試料台と、(3)試料から生じた2次イオンの飛行時間を測定する飛行時間型質量分析部と、を備えたことを特徴とする飛行時間型2次イオン質量分析装置。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
(1)2以上の原子からなるクラスターイオンを発生させるイオン発生源と、
前記クラスターイオンをパルス化するパルス化手段と、
ON状態の時に前記クラスターイオンの中から特定の質量数のイオンからなる測定用1次イオンを選別し、OFF状態の時に前記クラスターイオンを通過させる選別手段であって、前記ON状態とOFF状態を切り替えることが可能な選別手段と、
を有するイオン照射手段と、
(2)試料台と、
(3)試料から生じた2次イオンの飛行時間を測定する飛行時間型質量分析部と、
を備え、
前記選別手段をOFF状態とすることによって、試料に対して前記クラスターイオンを照射して試料の表面状態を改質し、
前記選別手段をON状態とすることによって、試料に対して前記測定用1次イオンを照射して試料から2次イオンを発生させ、前記飛行時間型質量分析部により前記2次イオンを測定するように構成されたことを特徴とする飛行時間型2次イオン質量分析装置。
IPC (3件)：
H01J 49/14
, G01N 27/62
, H01J 49/40
H01J49/14
, G01N27/62 K
, H01J49/40
2G041CA01
, 2G041DA16
, 2G041EA01
, 2G041FA10
, 2G041FA12
, 2G041GA06
, 2G041GA29
, 2G041JA06
, 2G041LA01
, 5C038GG01
, 5C038GG05
, 5C038GH13
