静電吸着力制御装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-257380
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085504
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、被吸着体が異なる性状であってもまた温度条件が異なる場合であっても被吸着体の吸脱着をスムーズに行いかつプロセス中の静電吸着力の制御を通じて被吸着体の温度制御を行うための制御装置を提供することにある。【解決手段】本発明の静電吸着力制御装置は予め静電吸着力のプロファイルを設定する。そのプロファイルどおりに静電吸着力が出力されるように静電チャックに供給される電源の入力電圧波形を静電チャックと被吸着体からなる電気回路の伝達関数からもとめた。

請求項（抜粋）：

電極を内包する静電チャックに電圧を印加し、被吸着体を静電力によって吸着する静電吸着式基板処理装置に備えられ、コンピュータ部と電圧印加部とからなり前記電圧印加を制御する電圧制御装置において、前記静電チャックに供給する操作入力電圧波形を決定するためのパラメータを決定する手段と、該パラメータに応じて前記操作入力電圧波形を決定する手段と、該操作入力電圧波形を電圧として出力する手段とを有することを特徴とする静電吸着力制御装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H02N 13/00 D

Fターム (6件)：

3C016GA10 , 5F031CA02 , 5F031HA19 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA32

引用特許：

審査官引用 (5件)

静電吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-285959 出願人：株式会社日立製作所
静電吸着装置の保持状態確認方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-001939 出願人：株式会社日立製作所
静電吸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-128877 出願人：菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社, 三菱電機株式会社

全件表示

前のページに戻る