特許
J-GLOBAL ID：200903001572194045

X線検査装置

発明者：
櫛引 敬嗣

櫛引 敬嗣 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (2件)： 鹿島 義雄 ,  甲斐 寛人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-028182
公開番号（公開出願番号）：特開2007-206019
出願日： 2006年02月06日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：
【課題】 X線測定光学系と被測定物との破損を防止しつつ、X線検出器又はステージを移動させることにより、様々な位置の被測定物の透視X線像を撮影できるX線検査装置を提供する。【解決手段】 X線検出器12とX線源11との間で被測定物を配置するステージ14と、ステージ駆動機構とを備えるX線検査装置1であって、可視光像を撮影する光学カメラ16と、ステージ14を回転移動させつつ撮影された可視光像に基づいて、被測定物とX線測定光学系13とが接触する可能性がある衝突危険領域を設定する衝突危険領域設定手段32と、X線測定光学系13の一部が衝突危険領域に入っているか否かを判定する衝突判定手段33と、X線測定光学系13の一部が衝突危険領域に入っていると判定したときに、X線測定光学系13の全部が衝突危険領域に入っていないときの移動速度より遅い所定の移動速度にする移動速度制御手段52とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透視X線像を撮影するX線検出器と当該X線検出器に向けて透視用X線を照射するX線源とを有するX線測定光学系と、 前記X線検出器と前記X線源との間で被測定物を配置するステージと、 前記ステージを回転及び並進移動させるステージ駆動機構とを備えるX線検査装置であって、 前記被測定物の可視光像を撮影する光学カメラと、 前記ステージを回転移動させつつ撮影された前記可視光像に基づいて、前記被測定物と前記X線測定光学系とが接触する可能性がある衝突危険領域を設定する衝突危険領域設定手段と、 前記X線測定光学系の一部が前記衝突危険領域に入っているか否かを判定する衝突判定手段と、 前記X線測定光学系の一部が前記衝突危険領域に入っていると判定したときに、ステージの移動速度を、前記X線測定光学系の全部が衝突危険領域に入っていないときの移動速度より遅い所定の移動速度にする移動速度制御手段とを備えることを特徴とするX線検査装置。
IPC (1件)：
G01N 23/04
FI (1件)：
G01N23/04
Fターム (17件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001JA06 ,  2G001JA08 ,  2G001JA09 ,  2G001JA12 ,  2G001JA13 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G001PA14
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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