特許
J-GLOBAL ID：200903001578659090
板状物研削装置及び板状物研削方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-009149
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198814
出願日： 2000年01月18日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：
【要約】【課題】 平面精度が要求される板状物の研削において、元来ある歪み及び研削中に生じた歪みを確実に除去できるようにする。【解決手段】 板状物の支持面を支持する回転可能な支持テーブル21と、板状物の側部を支持する側部支持部材22とから構成される支持手段20が搭載され、側部支持部材22によって板状物を密着固定せずに支持することができる板状物研削装置を提供する。また、この板状物研削装置を用いて側部支持部材22によって板状物を密着固定せずに支持し、支持テーブル21を回転させながら回転する研削砥石を板状物の研削面に接触させて、板状物を所定の厚さに研削する板状物研削方法を提供する。
請求項（抜粋）：
板状物を支持する支持手段と、該支持手段に支持された板状物の研削面を研削する研削ホイールを備えた研削手段とから少なくとも構成される研削装置であって、該支持手段は、板状物の支持面を支持する回転可能な支持テーブルと、該板状物の側部を支持する側部支持部材とを含み、該側部支持部材は、該支持テーブルに固定され、該板状物を密着固定せずに支持する板状物研削装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 41/06 L
, B24B 7/04 A
3C034AA08
, 3C034BB75
, 3C043BA03
, 3C043BA07
, 3C043BA16
