化学増幅型レジスト用共重合体の製造法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-176931
公開番号（公開出願番号）：特開2001-002735
出願日： 1999年06月23日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、非常に高感度な化学増幅型レジスト組成物のレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】酸の作用によりアルカリに対する溶解性が変化するレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法であって、重合開始剤と併用して下記式(I)から選ばれる少なくとも1種の連鎖移動剤を使用して重合を行うことを特徴とするレジスト用樹脂の製造方法。R-SH (I)(式中、Rは炭素数1〜20の飽和脂肪族炭化水素基を表す。)

請求項（抜粋）：

酸の作用によりアルカリに対する溶解性が変化するレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法であって、重合開始剤と併用して下記式(I)から選ばれる少なくとも1種の連鎖移動剤を使用して重合を行うことを特徴とするレジスト用樹脂の製造方法。R-SH (I)(式中、Rは炭素数1〜20の飽和脂肪族炭化水素基を表す。)

IPC (4件)：

C08F220/10 , C08F 2/38 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (4件)：

C08F220/10 , C08F 2/38 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (34件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BJ10 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB55 , 2H025FA17 , 4J011NA25 , 4J011NB04 , 4J100AJ02Q , 4J100AK32Q , 4J100AL03Q , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL09Q , 4J100BA06Q , 4J100BA11P , 4J100BA11Q , 4J100BC02P , 4J100BC04P , 4J100BC07P , 4J100BC37P , 4J100BC53P , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (7件)

感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-074718 出願人：ジェイエスアール株式会社
芳香族ビニル系化合物・(メタ)アクリレート共重合体
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-138880 出願人：三井化学株式会社, 本州化学工業株式会社
化学増幅型ホトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-011581 出願人：東京応化工業株式会社

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