特許
J-GLOBAL ID：200903001779723633

走査型光学顕微鏡

発明者：
吉田 剛洋

吉田 剛洋 について

, 
金子 新二

金子 新二 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-020427
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228933
出願日： 2001年01月29日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：
【要約】【課題】視野の周辺部の解像力も好適に得られるようにした低コストの走査型光学顕微鏡を提供すること。【解決手段】光源1から発せられたレーザ光は、ビームエキスパンダ2,ビームスプリッタ3を介して板ばねアクチュエータミラー13で反射され、瞳投影光学系7,対物レンズ8を介して標本9上に集光されるが、その光点は板ばねアクチュエータミラー13によって標本9上を走査する。そして、その反射光を光検出器10が検出し、モニター11によって標本9の像をで観察できるようになっている。また、板ばねアクチュエータミラー13は、ミラーを設けた層を含む二層の電極で構成され、少なくとも一つの電極層を複数に分割しておくことによって、各電極層間に電圧を印加すると、ミラーの反射面を、選択的に多方向へ傾斜させ得るようになっている。
請求項（抜粋）：
光源から発した光を標本上に集光させる対物レンズと、前記光源と前記対物レンズとの間に配置されていて前記標本上に集光される光点を光学的に走査させる二次元走査型光偏向器と、前記二次元走査型光偏向器と前記対物レンズの瞳とが互いに光学的に共役となるようにそれらの間に配置された瞳投影光学系と、前記標本からの反射光を検出する光検出器と、を備えており、前記二次元走査型光偏向器は、ミラーが、可撓性を有する複数の梁部で支持された薄板状部材に実装又は一体形成されており、該複数の梁部と該薄板状部材との少なくとも一方からなる第1層電極と該第1層電極に対向した第2層電極との少なくとも一方が複数の電極に分割されていて、該第1層と第2層の電極間に与える電位を制御することにより、前記薄板状部材が変位し、前記ミラーの反射面を任意の方向へ向けることができるように構成されていることを特徴とする走査型光学顕微鏡。
Fターム (4件)：
2H052AA07 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34
引用特許：
審査官引用 (5件)
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