特許
J-GLOBAL ID:200903001822319060
振動系、振動子および振動型ジャイロスコープ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-187840
公開番号(公開出願番号):特開2001-012952
出願日: 1999年07月01日
公開日(公表日): 2001年01月19日
要約:
【要約】【課題】所定面に沿って延び、少なくとも一対の屈曲振動片を備える振動子において、一対の屈曲振動片の共振周波数の温度ドリフトを低減する。【解決手段】振動系25は、細長い支持部9、支持部9の一方の側面9b側に突出し、所定面内で屈曲振動する一方の屈曲振動片3A、支持部9の他方の側面9c側に突出し、所定面内で一方の屈曲振動片3Aと共振する他方の屈曲振動片3B、一方の屈曲振動片3Aと他方の屈曲振動片3Bから見て支持部9と反対側に支持部9の延長線上に設けられる延長部5、支持部の一方の側面と一方の屈曲振動片との間に設けられる第一のテーパー部7A、支持部の他方の側面と他方の屈曲振動片との間に設けられる第二のテーパー部7B、延長部の一方の側面側に設けられている第三のテーパー部12Aおよび延長部の他方の側面側に設けられる第四のテーパー部12Bを備える。
請求項(抜粋):
所定面に沿って形成されており、所定面に対して平行な一対の主面と所定面に対して略垂直な側面とを備えている振動系であって、振動系が、細長い支持部、この支持部の一方の側面側に突出し、所定面内で屈曲振動する一方の屈曲振動片、支持部の他方の側面側に突出し、所定面内で一方の屈曲振動片と共振する他方の屈曲振動片、一方の屈曲振動片および他方の屈曲振動片から見て支持部と反対側において支持部の延長線上に設けられている延長部、支持部の一方の側面と一方の屈曲振動片との間に設けられている第一のテーパー部、支持部の他方の側面と他方の屈曲振動片との間に設けられている第二のテーパー部、延長部の前記一方の側面側に設けられている第三のテーパー部および延長部の前記他方の側面側に設けられている第四のテーパー部を備えていることを特徴とする、振動系。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (9件):
2F105AA02
, 2F105BB04
, 2F105BB09
, 2F105CC04
, 2F105CC11
, 2F105CC20
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
引用特許:
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