特許

J-GLOBAL ID：200903001870076969

ウエーハ支持装置

発明者： 奥田 哲也 ,  浜野 昌之
出願人/特許権者： 株式会社テクニスコ
代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-356900
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176811
出願日： 1999年12月16日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ウエーハの熱処理の際に生ずるスリップラインの発生および接触傷の発生を防止することができるウエーハ支持装置を提供する。【解決手段】 所定の間隔をおいて設けられた複数段のウエーハ支持部21を備えた複数本の支持桿2を具備し、各支持桿の各ウエーハ支持部の支持面にウエーハWの外周辺部を載置して支持するウエーハ支持装置であって、上記ウエーハ支持部の支持面は、中央部に形成された平面部211と外周部に形成され下方に湾曲する曲面部212とからなっている。

請求項（抜粋）：

所定の間隔をおいて設けられた複数段のウエーハ支持部を備えた複数本の支持桿を具備し、該各支持桿の該各ウエーハ支持部の支持面にウエーハの外周辺部を載置して支持するウエーハ支持装置において、該ウエーハ支持部の支持面は、中央部に形成された平面部と外周部に形成され下方に湾曲する曲面部とからなっている、ことを特徴とするウエーハ支持装置。

IPC (5件)：

H01L 21/22 511 ,  B65D 85/86 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/324 Q ,  H01L 21/68 V ,  H01L 21/68 N ,  B65D 85/38 R

Fターム (17件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096DA25 ,  3E096DC02 ,  3E096EA10Y ,  3E096FA10 ,  3E096GA13 ,  5F031CA02 ,  5F031HA65 ,  5F031MA30 ,  5F045BB13 ,  5F045DP19 ,  5F045EM08 ,  5F045EM09 ,  5F045HA06 ,  5F045HA16

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 熱処理用ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-059742   出願人：株式会社東芝
• 熱処理用ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-329829   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• ウェーハ支持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-093224   出願人：住友シチックス株式会社
• 基板支持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-017941   出願人：国際電気株式会社
• 縦型ウエーハボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-095199   出願人：株式会社テクニスコ