特許
J-GLOBAL ID：200903001899204311
荷電粒子発生装置及びその発生方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-021641
公開番号（公開出願番号）：特開2002-334663
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：
【要約】【課題】 真空排気系を小型に維持しながら、1台の装置をイオン源と電子源とに切り換えて使用することができる荷電粒子発生装置及びその発生方法を提供すること。【解決手段】 イオン発生モードとエレクトロン発生モードとが切り換え可能な荷電粒子発生装置及びその方法である。イオン発生モードでは、荷電粒子発生電極100に設けられた原材料通路108を介して原材料を導いて、荷電粒子発生電極100の先端に原材料を供給する。さらに、荷電粒子発生電極100側を正極性とし荷電粒子引出し電極110側を負極性とする第1の電界を形成して、荷電粒子発生電極100より原材料からイオンを発生させる。エレクトロン発生モードでは、原材料供給部130からの原材料の供給を停止させる。さらに、荷電粒子発生電極100側を負極性とし荷電粒子引出し電極110側を正極性とする第2の電界を形成して、荷電粒子発生電極100自体よりエレクトロンを発生させる。
請求項（抜粋）：
基端部から自由端部に連通する原材料通路を有する荷電粒子発生電極と、前記基端部に連結され、前記荷電粒子発生電極の前記原材料通路に原材料を供給する原材料供給部と、前記荷電粒子発生電極の前記自由端部との間に電界を形成する荷電粒子引出し電極と、を有することを特徴とする荷電粒子発生装置。
IPC (3件)：
H01J 27/26
, H01J 37/073
, H01L 21/027
H01J 27/26
, H01J 37/073
, H01L 21/30 541 B
5C030CC01
, 5C030CC10
, 5C030DF02
, 5F056CB01
, 5F056EA02
