特許
J-GLOBAL ID：200903001971883830

ArFエキシマレーザ装置及びフッ素レーザ装置

発明者：
柿崎 弘司

柿崎 弘司 について

, 
佐々木 陽一

佐々木 陽一 について


出願人/特許権者：
株式会社ウシオ総合技術研究所

株式会社ウシオ総合技術研究所 について


代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362688
公開番号（公開出願番号）：特開2001-177172
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 繰返し周波数が2kHzを越えてもレーザパルス幅Tisが40ns以上が可能な露光用ArFエキシマレーザ装置及びフッ素レーザ装置。【解決手段】 レーザチェンバー内に配置されたレーザ放電電極とそれに並列に接続されたピーキングコンデンサとを有するArFエキシマレーザ装置等において、磁気パルス圧縮回路からピーキングコンデンサを介して放電電極へエネルギーを注入する1次電流と、磁気パルス圧縮回路の最終段のコンデンサから放電電極へエネルギーを注入する2次電流とを重畳させ、かつ、2次電流の振動周期を1次電流の振動周期より長く設定して、2次電流が重畳した1次電流の極性が反転する放電振動電流波形の始めの半周期と、それに続く少なくとも2つの半周期とによって1パルスのレーザ発振動作を行わせる。
請求項（抜粋）：
磁気パルス圧縮回路の出力端に接続され、レーザチェンバー内に配置された一対のレーザ放電電極とその一対のレーザ放電電極と並列に接続されたピーキングコンデンサとを有するArFエキシマレーザ装置において、前記磁気パルス圧縮回路から前記ピーキングコンデンサを介して前記放電電極へエネルギーを注入する1次電流と、前記磁気パルス圧縮回路の最終段の前記ピーキングコンデンサ充電用のコンデンサから前記放電電極へエネルギーを注入する2次電流とを重畳させ、かつ、前記2次電流の振動周期を前記1次電流の振動周期より長く設定して、前記2次電流が重畳した前記1次電流の極性が反転する放電振動電流波形の始めの半周期と、それに続く少なくとも2つの半周期とによって1パルスのレーザ発振動作を行うように構成したことを特徴とするArFエキシマレーザ装置。
IPC (3件)：
H01S 3/097 ,  H01S 3/22 ,  H01S 3/225
FI (3件)：
H01S 3/097 A ,  H01S 3/22 Z ,  H01S 3/223 E
Fターム (4件)：
5F071AA06 ,  5F071GG09 ,  5F071JJ07 ,  5F071JJ10
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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