光偏向装置、光偏向装置の製造方法、光偏向アレー、画像形成装置および画像投影表示装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鈴木誠 , 大浦一仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-110644
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317744
出願日： 2003年04月15日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】光偏向装置を駆動するための電極数を大幅に低減し、装置の小型化と高集積化を可能にする。【解決手段】板状部材607は、固定端を持たず、その上面に光り反射領域を有する部材604と所定電位に帯電されたエレクトレット部材501で構成される。複数の電極605a、605bが基板601上に設けられ、エレクトレット部材501の帯電電位と同電位を電極の一方に印加し、他方の電極に接地電位を印加することにより、板状部材607を傾斜変位させて光偏向を行う。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

光反射領域を有する部材が静電引力で変位または変形することにより、前記光反射領域に入射する光束が反射方向を変えて偏向される光偏向装置であって、前記静電引力の発生に寄与する部材として少なくともエレクトレット部材を用いることを特徴とする光偏向装置。

IPC (3件)：

G02B26/08 , B81B3/00 , B81B5/00

FI (3件)：

G02B26/08 E , B81B3/00 , B81B5/00

Fターム (4件)：

2H041AA14 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (7件)

回転体を用いた光偏向装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-148380 出願人：キヤノン株式会社
特開昭53-126147
特開昭59-017504

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