特許
J-GLOBAL ID：200903002059364977
光学素子及び光学素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-139442
公開番号（公開出願番号）：特開平10-319221
出願日： 1997年05月14日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 完全ドライ化された回折格子や光学素子の高速加工製造方法及び上記製造法で作成された、溝形状を有する光学素子を提供する。【解決手段】 格子形状のマスクの投影照射可能な光学系を有するレーザアブレーション加工部1〜5によって、少なくとも一部に反射膜を有するレーザアブレーション加工可能な高分子材料からなる被加工材6に反射膜方向からレーザを照射し、反射膜の回析格子形状を作成する。
請求項（抜粋）：
格子形状のマスクの投影照射可能な光学系を有するレーザアブレーション加工装置によって、少なくとも一部に反射膜を有するレーザアブレーション加工可能な高分子材料に反射膜方向からレーザを照射し反射膜の回析格子形状を作成することを特徴とする光学素子製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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