太陽電池用電極の作製方法および太陽電池

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出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-252004
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069642
出願日： 1995年09月05日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【目的】太陽電池の光反射製電極を構成するアルミニウム膜において、緻密なテクスチャー構造を得る。テクスチャー構造による開放電圧の低下を防ぐ。【構成】太陽電池の光入射側と反対側に位置する、光反射性電極として、少なくとも、不純物元素としてシリコンが0.1〜6.0wt%含有するアルミニウムをターゲットとし、基板温度を50°C〜200°Cとしたスパッタ法により形成したアルミニウム膜を用いる。また該アルミニウム膜上に、不純物元素が添加されていないアルミニウム膜、または銀膜、を積層することにより、適度な凹凸形状を有するテクスチャー構造を得る。有機樹脂フィルム基板を用いる場合、上面のアルミニウム膜を形成前に、有機樹脂フィルム内に存在する水分その他、加熱や真空雰囲気により気体として放出される成分を除いておく。

請求項（抜粋）：

基板、光反射性電極、光電変換層、透明電極を少なくとも有して構成される太陽電池において、前記光反射性電極は、不純物元素として、シリコン、ニッケル、銅のいずれか1種以上を、0.1〜6.0%含有するアルミニウム膜により構成されることを特徴とする太陽電池。

FI (2件)：

H01L 31/04 M , H01L 31/04 F

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-334069
太陽電池
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-264611 出願人：株式会社日立製作所
光起電力素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-231315 出願人：キヤノン株式会社

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