特許

J-GLOBAL ID：200903002132217260

ヨーレートセンサ

発明者： ライナー ヴィリッヒ ,  アンドレーアス トーメ ,  ブルクハルト クールマン ,  イェルク ハウアー ,  ウードー-マーティン ゴメス ,  ジークベルト ゲツ ,  クリスティアン デーリング ,  ミヒャエル フェーレンバッハ ,  ヴォルフラム バウアー ,  ウードー ビショッフ ,  ラインハルト ノイル ,  カールステン フンク ,  マルクス ルッツ ,  ゲアハルト ヴーハー ,  ヨッヘン フランツ
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (3件)： 矢野 敏雄 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-566605
公開番号（公開出願番号）：特表2004-518969
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

基板の表面(1)の上に配置されたコリオリ素子(100)を備えたヨーレートセンサが提案される。コリオリ素子(100)は、第1の軸Xに対して平行な振動を発生させるように励振される。コリオリ力により、コリオリ素子(100)は、第1の軸Xに対して直角に延びる第2の軸Yにおいて変位される。この変位を検出するために、検出素子(140)が設けられている。

請求項（抜粋）：

基板(1)の表面の上に配置されたコリオリ素子(100)を備えたヨーレートセンサであって、励振手段(104,105)が設けられており、該励振手段(104,105)によってコリオリ素子(100)が、第1の軸に対して平行な振動を発生させるように励振可能であり、さらに検出手段(101)が設けられており、該検出手段(101)によって、第1の軸に対して直角に延びる第2の軸におけるコリオリ力に基づいたコリオリ素子(100)の変位が検出可能であり、第1および第2の軸(X,Y)が、基板(1)の表面に対して平行に延びている形式のものにおいて、基板(1)の表面の上に励振素子(102)と検出素子(140)とが設けられており、励振素子(102)が、第1の軸では硬くかつ第2の軸では軟らかく形成されているばね(103)によってコリオリ素子(100)に結合されており、検出素子(140)が、第1の方向では硬くかつ第2の方向では軟らかく形成されているばね(142)によってコリオリ素子(100)に結合されていることを特徴とするヨーレートセンサ。

IPC (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

FI (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

Fターム (5件)：

2F105AA01 ,  2F105BB11 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-203560   出願人：アイシン精機株式会社
• 回転角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-207355   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-260925   出願人：株式会社村田製作所
• 振動型角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-334336   出願人：株式会社豊田中央研究所

審査官引用 (4件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-203560   出願人：アイシン精機株式会社
• 回転角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-207355   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-260925   出願人：株式会社村田製作所
• 振動型角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-334336   出願人：株式会社豊田中央研究所