特許
J-GLOBAL ID：200903002185219664
照明装置及びそれを用いた観察装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-018385
公開番号（公開出願番号）：特開平9-190967
出願日： 1996年01月08日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 レチクル面又はウエハ面上のパターンを均一に照明し、該パターンを良好なる状態で観察し、レチクルとウエハとのアライメントを高精度に行うことのできる照明装置及びそれを用いた観察装置を得ること。【解決手段】 光源手段からの光束で照明光学系を介して物体面を照明する際、該照明光学系中に該光源手段側から順に入射光を拡散出射させる第1の光拡散素子、該第1の光拡散素子からの光束を導光させる光導光素子そして該光導光素子の出射面又はそれに共役な面に配置し、該光導電素子からの光束を拡散出射させる第2の光拡散素子とを有する光拡散手段を設けると共に該光拡散手段からの光束の拡がり角以下の光束を取り込む開口数を有した光学部材を設けたこと。
請求項（抜粋）：
光源手段からの光束で照明光学系を介して物体面を照明する際、該照明光学系中に該光源手段側から順に入射光を拡散出射させる第1の光拡散素子、該第1の光拡散素子からの光束を導光させる光導光素子そして該光導光素子の出射面又はそれに共役な面に配置し、該光導電素子からの光束を拡散出射させる第2の光拡散素子とを有する光拡散手段を設けると共に該光拡散手段からの光束の拡がり角以下の光束を取り込む開口数を有した光学部材を設けたことを特徴とする照明装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 527
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 A
, H01L 21/30 516 C
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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