特許

J-GLOBAL ID：200903002270215937

感光性樹脂組成物及びシルセスキオキサン重合体

発明者： 清水 建樹 ,  井出 陽一郎
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
代理人 (1件)： 青木 宏義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-123170
公開番号（公開出願番号）：特開2007-293159
出願日： 2006年04月27日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】成膜性が良好であり、感光性を有し、かつ成膜後に焼成することにより容易に耐熱性が高い膜が得られる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】かご状シルセスキオキサン構造が平均1箇所を超えて他のかご状シルセスキオキサン構造と結合してなるシルセスキオキサン重合体であって、該かご状シルセスキオキサン構造が平均1個以上の感光性付与基を含むシルセスキオキサン重合体と、感光剤と、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

かご状シルセスキオキサン構造が平均1箇所を超えて他のかご状シルセスキオキサン構造と結合してなるシルセスキオキサン重合体であって、該かご状シルセスキオキサン構造が平均1個以上の感光性付与基を含むシルセスキオキサン重合体と、感光剤と、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/075 ,  G03F 7/023 ,  C08G 77/04 ,  H01B 3/46

FI (4件)：

G03F7/075 511 ,  G03F7/023 ,  C08G77/04 ,  H01B3/46 C

Fターム (46件)：

2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC50 ,  2H025BC78 ,  2H025BD55 ,  2H025BE01 ,  2H025BF30 ,  2H025CB33 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J246AA03 ,  4J246AB07 ,  4J246BA01X ,  4J246BA010 ,  4J246BA12X ,  4J246BA120 ,  4J246BB02X ,  4J246BB020 ,  4J246CA030 ,  4J246CA330 ,  4J246CA34X ,  4J246CA340 ,  4J246CA650 ,  4J246FA431 ,  4J246GA01 ,  4J246GA20 ,  4J246GB11 ,  4J246GC12 ,  4J246GC26 ,  4J246GC45 ,  4J246GC53 ,  4J246GD08 ,  4J246HA15 ,  4J246HA65 ,  5G305AA07 ,  5G305AB10 ,  5G305AB36 ,  5G305BA04 ,  5G305CA26 ,  5G305CB15 ,  5G305CD12

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特許第2884073号公報
  
• 高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-014354   出願人：信越化学工業株式会社
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-057343   出願人：富士写真フイルム株式会社

審査官引用 (1件)

• パターナブル低誘電率材料およびULSI相互接続でのその使用
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-421691   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション