パターナブル低誘電率材料およびULSI相互接続でのその使用

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：坂口博 , 市位嘉宏 , 上野剛史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-421691
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212983
出願日： 2003年12月18日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】集積回路の相互接続構造に用いる誘電体であって、数多くのマスク層や処理工程を必要としない低誘電率を有する誘電体を提供する。【解決手段】1つまたは複数の酸感受性イメージング可能基を有する官能基化されたポリマーを含む組成物を提供する。本発明で使用するポリマーは低kポリマー、あるいは熱または光による後続の処理の後に低kポリマーに変換することができるポリマーである。より具体的には、本発明で使用するポリマーには、炭化水素、フッ素化炭化水素、オルガノシリカート、シルセスキオキサンなどが含まれる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

1つまたは複数の酸感受性イメージング可能基を有する官能基化されたポリマーを含み、前記ポリマーが3.9未満の誘電率を有し、または前記ポリマーを前記誘電率を有するポリマーに変換することができ、前記1つまたは複数の酸感受性イメージング可能官能基がポジティブ・トーン官能基またはネガティブ・トーン官能基から選択された組成物。

IPC (7件)：

G03F7/075 , C08G77/14 , C08K5/00 , C08L83/06 , H01L21/312 , H01L21/3205 , H01L21/768

FI (7件)：

G03F7/075 521 , C08G77/14 , C08K5/00 , C08L83/06 , H01L21/312 C , H01L21/90 S , H01L21/88 K

Fターム (64件)：

2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BD22 , 2H025BD54 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J002CP05 , 4J002EA00 , 4J002EB06 , 4J002EX03 , 4J002GP03 , 4J002GQ00 , 4J002GQ01 , 4J246AA03 , 4J246AB01 , 4J246AB07 , 4J246AB11 , 4J246BA110 , 4J246BA12X , 4J246BA120 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246CA46M , 4J246CA46X , 4J246CA460 , 4J246CA47M , 4J246CA47X , 4J246CA470 , 4J246CA53M , 4J246CA53X , 4J246CA530 , 4J246CA55M , 4J246CA55X , 4J246CA550 , 4J246CA580 , 4J246CA670 , 4J246CA680 , 4J246CA690 , 4J246CB08 , 4J246FC162 , 4J246FC232 , 4J246GC26 , 4J246GC53 , 4J246GD08 , 4J246HA15 , 4J246HA65 , 5F033MM02 , 5F033QQ01 , 5F033RR21 , 5F033RR25 , 5F033RR27 , 5F033SS22 , 5F033XX24 , 5F033XX25 , 5F058AC03 , 5F058AC07 , 5F058AF04 , 5F058AH02

引用特許：

出願人引用 (30件)

米国特許第5789460号(ハークネス(Harkness)他)
米国特許第4371605号
米国特許第5891529号(ハークネス(Harkness)他)

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審査官引用 (21件)

ポジ型レジスト材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-331721 出願人：信越化学工業株式会社, 日本電信電話株式会社
シリコーン樹脂及びこれを含有する感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-089441 出願人：新日鐵化学株式会社
特開平4-159553

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