特許
J-GLOBAL ID：200903002298546394
光ディスクスタンパの作製方法、光ディスクスタンパおよび光ディスク
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
杉浦 正知
, 森 幸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-010071
公開番号（公開出願番号）：特開2005-203052
出願日： 2004年01月19日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 光ディスクの高記録密度化および光ディスク基板の射出成形時におけるスタンパの作成工程の簡略化が可能なネガ型レジスト材料を提供する。 【解決手段】 遷移金属、例えばタングステンWならびにモリブデンMoの酸化物からなる無機レジスト材料において、同レジスト材料のスパッタ成膜時の成膜ガスを流量比75:25のアルゴン・酸素混合ガスとすることにより、ネガ型の無機レジスト材料を得る。無機レジスト材料が基板上に成膜され、レーザ光で露光され、グルーブに対応する露光部が現像後に残るレジストパターンが得られる。レジストパターンからマスタスタンパが作製され、マスタスタンパを使用して読み取り面に凸のグルーブを有するディスク基板を作製できる。【選択図】 図15
請求項（抜粋）：
基板上に酸素含有量が72ないし74at.%である無機レジスト材料が被着されて無機レジスト膜が形成され、
上記無機レジスト膜を露光することで得られたレジストパターンから光ディスクスタンパを得ることを特徴とする光ディスクスタンパの作製方法。
IPC (2件)：
FI (5件)：
G11B7/26 501
, G11B7/26 511
, G11B7/24 531B
, G11B7/24 561D
, G11B7/24 561Q
5D029KB03
, 5D029WA02
, 5D029WB02
, 5D029WC06
, 5D121BB01
, 5D121BB08
, 5D121CA00
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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