特許
J-GLOBAL ID：200903002319164993
光学測定ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤田 アキラ
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-501217
公開番号（公開出願番号）：特表2007-526468
出願日： 2005年03月03日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：
本発明に従う測定ヘッド(4)は、好ましくは回折レンズであるゾーンレンズ(26)と半球レンズ(23)又はGRINレンズ(33)の組み合わせを有する。これは、高い開口数を有する非常に細い測定ヘッド(4)になる小型化の可能なコンセプトを表し、従って、ベストな解像能力をもたらす。このような測定ヘッドは、測定ヘッドの測定すべき表面への指向に関する角度誤差又は測定ヘッドの光軸に対する面の斜めの位置決めに対して反応しない。
請求項（抜粋）：
様々なスペクトル成分を有する光を発生させる光源(8)と、
工作物(2)から反射した光を受け、そのスペクトル成分に関して光を解析する光レシーバー(9)と、
光源(8)と直径が5mmより小さい少なくとも1つの対物レンズ(4)とを連結する少なくとも1つの光導波路(6)とを有する、工作物(2)の光学測定のための測定ヘッド(4)において、
対物レンズが、
(a)光導波路(6)と逆方向に光導波路(6)により送られた光を偏向するミラー(24)と、
(b)光源(8)から見てミラー(24)の前に配置された少なくとも1つの第1フォーカス要素(23,33)と、
(c)第1要素と連続して対物レンズの光路に配置され又はミラーに一体化された、色収差を有する第2要素(26,36)とを有し、
対物レンズ(4)は0.1以上の全開口数(NA)を有することを特徴とする測定ヘッド。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01C3/06 120P
, G01C3/06 140
, G01B11/24 B
2F065AA51
, 2F065BB08
, 2F065DD02
, 2F065FF10
, 2F065FF48
, 2F065GG02
, 2F065GG07
, 2F065GG12
, 2F065GG24
, 2F065JJ02
, 2F065JJ25
, 2F065LL00
, 2F065LL02
, 2F065LL07
, 2F065LL08
, 2F065LL10
, 2F065LL12
, 2F065LL41
, 2F065LL46
, 2F065LL67
, 2F065QQ25
, 2F065QQ44
, 2F112AB07
, 2F112BA10
, 2F112CA12
, 2F112DA04
, 2F112DA09
, 2F112DA10
, 2F112DA11
, 2F112DA26
, 2F112DA30
, 2F112DA32
出願人引用 (2件)
審査官引用 (9件)
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