特許

J-GLOBAL ID：200903002382510249

パターン検査方法

発明者： 永森 進一
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 七條 耕司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-178631
公開番号（公開出願番号）：特開2004-020488
出願日： 2002年06月19日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：

【課題】不良検査単位と判定された時点で、結果的にはその部分は廃棄されるので、それ以降の該不良検査単位における回路パターンの検査を行わないようにして、検査時間の短縮を図ったパターン検査方法を提供する。【解決手段】フィルム状の帯状ワーク6に形成された回路パターンの良・不良を検査するパターン検査方法において、前記帯状ワーク6に形成された複数の回路パターンを1検査単位とし、検査装置に、上記1検査単位に含まれる不良回路パターンの許容数を設定し、検査装置において、検査の際に1検査単位内の不良回路パターンの数が前記許容数を上回ったと判定された時、当該検査単位の検査を中止し、次の検査単位に検査を移行させることを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

フィルム状の帯状ワークに形成された回路パターンの良・不良を検査するパターン検査方法において、 前記帯状ワークに形成された複数の回路パターンを1検査単位とし、 検査装置に、上記1検査単位に含まれる不良回路パターンの許容数を設定し、 検査装置において、検査の際に1検査単位内の不良回路パターンの数が前記許容数を上回ったと判定された時、当該検査単位の検査を中止し、次の検査単位に検査を移行させることを特徴とするパターン検査方法。

IPC (2件)：

G01N21/956 ,  H01L21/60

FI (2件)：

G01N21/956 B ,  H01L21/60 311W

Fターム (8件)：

2G051AA65 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051CA04 ,  2G051DA01 ,  2G051DA15 ,  2G051EC02 ,  5F044MM48

引用特許：

審査官引用 (4件)

• テープキャリア欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-079497   出願人：新日本製鐵株式会社, 日本インターコネクションシステムズ株式会社
• プリント配線板の良否判定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-229385   出願人：日立化成工業株式会社
• 欠陥検査方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-263366   出願人：株式会社ニコン
• パターン検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-081453   出願人：株式会社東芝