特許
J-GLOBAL ID：200903002435939102
光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-094797
公開番号（公開出願番号）：特開2000-044270
出願日： 1999年04月01日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：
【要約】【課題】 排気管に付着したスートに起因するチャンバ内の気体の流れの経時的な変化がなく、したがって長手方向に安定した特性を有する光ファイバ用多孔質ガラス母材が製造でき、さらに排気管に付着したスートが再度チャンバ内に落下して光ファイバ用多孔質ガラス母材に付着し、気泡を形成することのない光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を提供することである。【解決手段】 チャンバと、このチャンバ内に配置され、基材の表面に向けてファイバ用原料および反応ガスを吹き付け、反応生成物を堆積して光ファイバ用多孔質ガラス母材を形成するバーナと、前記チャンバ内の気体を排気するための排気管とを具備する光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置において、前記排気管がその内面下部についたて板を有することを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置。
請求項（抜粋）：
チャンバと、このチャンバ内に配置され、基材の表面に向けてファイバ用原料および反応ガスを吹き付け、反応生成物を堆積して光ファイバ用多孔質ガラス母材を形成するバーナと、前記チャンバ内の気体を排気するための排気管とを具備する光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置において、前記排気管がその内面下部についたて板を有することを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置。
引用特許：
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