ナノプリント用スタンパ、及び微細構造転写方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-078460
公開番号（公開出願番号）：特開2004-288845
出願日： 2003年03月20日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】ナノプリント法において、基板からスタンパを剥離する工程を高精度かつ容易に行うことを目的とする。【解決手段】プレス装置を用い、基板上に微細構造を形成するためのスタンパにおいて、前記スタンパが剥離機構を有することを特徴とするナノプリント用スタンパ、及び該スタンパを用いるパターン転写方法。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

プレス装置を用い、基板上に微細構造を形成するためのスタンパにおいて、前記スタンパが剥離機構を有することを特徴とするナノプリント用スタンパ。

IPC (3件)：

H01L21/3205 , B29C59/02 , B81C5/00

FI (3件)：

H01L21/88 B , B29C59/02 B , B81C5/00

Fターム (39件)：

4F209AA36 , 4F209AA44 , 4F209AF01 , 4F209AG01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AH73 , 4F209AJ01 , 4F209AJ09 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PH02 , 4F209PH21 , 4F209PH27 , 4F209PN03 , 4F209PN04 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 5D112AA02 , 5D112AA24 , 5D112BA03 , 5D112BA10 , 5D112GA20 , 5D112GB07 , 5D121CA01 , 5F033HH00 , 5F033JJ00 , 5F033KK11 , 5F033MM02 , 5F033PP15 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ41 , 5F033QQ46 , 5F033RR04

引用特許：

審査官引用 (6件)

インプリント方法およびインプリント装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-084681 出願人：日本電信電話株式会社
パタ-ン形成方法及び半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-370629 出願人：富士通株式会社
特開平2-289311

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