三次元X線CT装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-318243
公開番号（公開出願番号）：特開2009-139314
出願日： 2007年12月10日
公開日（公表日）： 2009年06月25日
要約：

【課題】有機素材のような軽い元素で構成された材料をナノ単位のレベルで立体観察が行なえるようにする。【解決手段】真空ポンプ13によって内部が真空状態となる真空室3内に少なくともX線を照射するX線照射部23が臨むと共に1〜10keVの低エネルギーX線をコーン状に照射するX線照射装置5と、前記X線照射装置5から照射されるX線の中心線C-1上の適宜位置に試料のセットを可能とした試料セット台35を有する回転可能な試料ステーション7と、前記試料ステーション7の試料セット台35にセットされた試料15を挟んで前記X線照射装置5と対向し合うと共に冷却手段によって冷却される検出面9aを有する二次元X線検出器9とを配置し、真空室3内に照射されるコーン状のX線によって試料15を検出面9aに拡大投影する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

内部を真空状態とする真空ポンプ及び試料等を出し入れするための開閉扉を有する真空室と、前記真空室内に少なくともX線を照射するX線照射部が臨むと共に1〜10keVの低エネルギーX線をコーン状に照射するX線照射装置と、前記真空室内に配置され前記X線照射装置から照射されるX線の中心線上の適宜位置に試料のセットを可能とした試料セット台を有する360度回転可能な試料ステーションと、前記試料ステーションの試料セット台にセットされた試料を挟んで前記X線照射装置と対向し合うと共に冷却手段によって冷却された少なくとも検出面の領域が前記真空室内に臨む二次元X線検出器とを備えていることを特徴とする三次元X線CT装置。

IPC (1件)：

G01N 23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (11件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001HA08 , 2G001HA13 , 2G001HA14 , 2G001LA05 , 2G001PA07 , 2G001PA12 , 2G001QA01 , 2G001QA10

引用特許：

審査官引用 (8件)

複合型顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-231334 出願人：株式会社島津製作所
特開昭63-177048
特開平4-287580

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