特許
J-GLOBAL ID：200903064983416113

X線顕微検査装置

発明者：
矢田 慶治

矢田 慶治 について

, 
甲斐 廣海

甲斐 廣海 について

, 
齋藤 泰

齋藤 泰 について


出願人/特許権者：
株式会社東研

株式会社東研 について


代理人 (3件)： 安形 雄三 ,  五十嵐 貞喜 ,  北野 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-302537
公開番号（公開出願番号）：特開2004-138461
出願日： 2002年10月17日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：
【課題】超高分解能で且つ非常に短時間での非破壊検査が可能であると共に、高精度の電子プローブ制御機能、CT機能,元素分析機能,ターゲット切替機能などの優れた機能を搭載したX線顕微検査装置を提供する。【解決手段】電子発生部の近傍に磁界発生部が配置された磁界重畳レンズと、X線発生用ターゲットの近傍に配置され、前記磁界重畳レンズを介して形成された電子プローブの前記X線発生用ターゲットからの反射電子を検出する反射電子検出手段と、前記反射電子検出手段の検出信号に基づいて前記X線発生用ターゲットのターゲット面の電子像を画像化する電子像生成手段とを備え、前記電子プローブの前記X線発生用ターゲットに対するピント調整,非点収差補正を含む調整を前記電子像の画像情報に基づいて行い得るように構成する。更に、電子プローブ制御機能、電子線軸合わせ機能、CT機能,元素分析機能,ターゲット切替機能などの機能を搭載する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
電子源からの電子線をX線発生用ターゲットに当ててX線を発生させるX線発生手段を有し、前記X線を利用して被検査体を検査するX線顕微検査装置において、電子銃の電子発生部の近傍に磁界発生部が配置された磁界重畳レンズと、前記X線発生用ターゲットの上方に検出部が配置され、前記磁界重畳レンズを介して形成された電子プローブの前記X線発生用ターゲットからの反射電子を検出する反射電子検出手段と、前記反射電子検出手段の検出信号に基づいて前記X線発生用ターゲットのターゲット面の電子像を画像化する電子像生成手段とを備え、前記電子プローブの前記X線発生用ターゲットに対するピント調整,非点収差補正を含む調整を前記電子像の画像情報に基づいて行い得るように構成したことを特徴とするX線顕微検査装置。
IPC (10件)：
G01N23/04 ,  G01N23/223 ,  G01N23/225 ,  G21K1/00 ,  G21K1/093 ,  G21K5/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244
FI (10件)：
G01N23/04 ,  G01N23/223 ,  G01N23/225 ,  G21K1/00 E ,  G21K1/093 F ,  G21K5/04 C ,  H01J37/147 Z ,  H01J37/153 Z ,  H01J37/21 Z ,  H01J37/244
Fターム (13件)：
2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001BA04 ,  2G001BA05 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001GA01 ,  2G001GA10 ,  2G001JA01 ,  2G001KA03 ,  5C033JJ01 ,  5C033MM01 ,  5C033NN02
引用特許：
出願人引用 (18件)
  • X線観察装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-181046   出願人：株式会社ホロン
  • 特開平3-273200
  • 電子走査型X線源による物品の構造検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-225782   出願人：株式会社神戸製鋼所
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審査官引用 (18件)
  • X線観察装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-181046   出願人：株式会社ホロン
  • 特開平3-273200
  • 電子走査型X線源による物品の構造検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-225782   出願人：株式会社神戸製鋼所
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