表示用トランジスタアレイパネルの形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-310299
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142878
出願日： 1997年11月12日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】製造コストの大幅な削減を図る。【解決手段】 Si基板で成る第1の基板上に、TFT素子43を素子分離溝44を隔ててピッチdx/m,dy/nで形成する。dx,dyは画素の配列ピッチであり、m,nは「2」以上の自然数である。さらに、UV剥離樹脂46で第2の基板45を張り付け、第1の基板をエッチング除去した後各TFT素子43を分離させる。そして、第3の基板47に、接着樹脂51で転写対象のTFT素子43のみを選択的に接着させ、第2の基板45側から紫外線62を選択的に照射して転写対象のTFT素子43のみを第3の基板47に選択転写する。こうして、1枚の第2の基板45上に必要数の(m×n)倍のTFT素子43を作成して、(m×n)枚のパネル用基板47に同一の選択転写を行うことができ、第1の基板上にTFT素子43を形成するコストを概略1/(m×n)にできる。

請求項（抜粋）：

基板上に、画素の一方向への配列ピッチdxを2以上の自然数mで除したdx/mのピッチ、および、他方向への配列ピッチdyを2以上の自然数nで除したdy/nのピッチで素子を設ける工程と、上記基板上に設けられた素子のうち、上記画素の配列ピッチdx,dyに対応する素子のみを選択的に他の基板に転写する工程を備えたことを特徴とする表示用トランジスタアレイパネルの形成方法。

引用特許：

出願人引用 (3件)

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公報種別：公開公報出願番号：特願平3-350543 出願人：加藤忠信
液晶表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-320718 出願人：三洋電機株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-088759 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

審査官引用 (3件)

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公報種別：公開公報出願番号：特願平3-350543 出願人：加藤忠信
液晶表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-320718 出願人：三洋電機株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-088759 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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