特許
J-GLOBAL ID：200903002506079525

板状物の分割装置

発明者：
永井 祐介

永井 祐介 について

, 
小林 賢史

小林 賢史 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-183795
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019769
出願日： 2003年06月27日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：
【課題】分割予定ラインに沿って強度が低下されている板状物を効率よく分割することができるとともに、分割されたチップを損傷することなくピックアップすることができるを提供する。【解決手段】環状のフレームに装着された保護テープの上面に貼着され分割予定ラインに沿って強度が低下して形成されている板状物を、分割予定ラインに沿って分割する板状物の分割装置であって、フレームを保持するフレーム保持手段と、フレーム保持手段に保持されたフレームに装着された保護テープを拡張するテープ拡張手段と、保護テープに貼着された板状物を検出する検出手段と、検出手段によって検出された板状物の分割予定ラインを保護テープを介して押圧し、板状物を分割予定ラインに沿ってチップに分割する分割手段と、分割されたチップを保護テープを通して突き上げる突き上げ手段と、突き上げ手段によって突き上げられたチップをピックアップするピックアップ手段とを具備している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
環状のフレームに装着された保護テープの上面に貼着され分割予定ラインに沿って強度が低下して形成されている板状物を、該分割予定ラインに沿って分割する板状物の分割装置において、 該環状のフレームを保持するフレーム保持手段と、 該フレーム保持手段に保持された該環状のフレームに装着された該保護テープを拡張するテープ拡張手段と、 該保護テープに貼着された該板状物を検出する検出手段と、 該検出手段によって検出された該板状物の該分割予定ラインを該保護テープを介して押圧し、該板状物を該分割予定ラインに沿ってチップに分割する分割手段と、 分割された該チップを該保護テープを通して突き上げる突き上げ手段と、 該突き上げ手段によって突き上げられた該チップをピックアップするピックアップ手段と、を具備している、 ことを特徴とする板状物の分割装置。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  H01L21/301
FI (4件)：
H01L21/68 E ,  H01L21/78 Q ,  H01L21/78 X ,  H01L21/78 Y
Fターム (7件)：
5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA78 ,  5F031JA22 ,  5F031MA37 ,  5F031MA38 ,  5F031MA40
引用特許：
審査官引用 (3件)

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