特許
J-GLOBAL ID：200903002516061900

検査装置

発明者：
鈴木 保之

鈴木 保之 について

, 
宮下 丈人

宮下 丈人 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-294517
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118898
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 被検査物を所定の検査位置に精度良く位置決めし、非常に微細な欠陥も適切に検査することを可能にする。【解決手段】 エレベータ22と、プリアライナ24と、搬送用ロボット23とが略直線上に並び、エレベータ22と搬送用ロボット23との間の距離L1と、プリアライナ24と搬送用ロボット23との間の距離L2とが略等しくなるようにする。また、搬送用ロボット23から見て、エレベータ22とプリアライナ24とが並ぶ方向と略直交する方向に、検査用ステージ14が位置するようにする。これにより、搬送用ロボット23による半導体ウェハの搬送を極めて正確に行うことができ、半導体ウェハを検査用ステージ14上の所定の検査位置に正確に位置決めして、非常に微細な欠陥の検査も適切に行うことが可能となる。
請求項（抜粋）：
内部環境がクリーンに保たれるクリーンボックスと、上記クリーンボックス内に配設された検査用ステージと、被検査物を上記クリーンボックスの内部に移送する移送手段と、上記移送手段により上記クリーンボックスの内部に移送された被検査物を上記検査用ステージ上に設置する前に、この被検査物の位相出し及びセンター出しを行う調整手段と、上記移送手段により上記クリーンボックスの内部に移送された被検査物を上記調整手段へと搬送すると共に、上記調整手段により位相出し及びセンター出しが行われた被検査物を上記検査用ステージへと搬送する搬送手段とを備え、上記移送手段と、上記調整手段と、上記搬送手段とが、上記クリーンボックス内において略直線上に並ぶように配設され、上記移送手段と上記搬送手段との間の距離と、上記調整手段と上記搬送手段との間の距離が略等しくされていると共に、上記搬送手段から見て、上記移送手段と上記調整手段とが並ぶ方向と略直交する方向に、上記検査用ステージが配設されていることを特徴とする検査装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  G06T 7/00
FI (4件)：
H01L 21/66 J ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A ,  G06F 15/62 405 A
Fターム (77件)：
2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065DD14 ,  2F065FF02 ,  2F065FF42 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG13 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL05 ,  2F065LL10 ,  2F065NN02 ,  2F065NN20 ,  2F065PP11 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065RR02 ,  2F065RR05 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT01 ,  2F065TT02 ,  2G051AA51 ,  2G051BA01 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA03 ,  2G051DA08 ,  2G051DA20 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EB09 ,  2G051EC01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA07 ,  4M106CA38 ,  4M106CA50 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB18 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ03 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B057BA19 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07
引用特許：
審査官引用 (11件)
  • 測長装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-320822   出願人：ウシオ電機株式会社
  • パターン読取方法および装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-325205   出願人：株式会社日立製作所
  • 特開昭61-097555
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