特許
J-GLOBAL ID：200903002551348464

プロキシミティ露光装置

発明者：
栗政 利彦

栗政 利彦 について

, 
大霜 征彦

大霜 征彦 について


出願人/特許権者：
東レエンジニアリング株式会社

東レエンジニアリング株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-264761
公開番号（公開出願番号）：特開2009-009166
出願日： 2008年10月14日
公開日（公表日）： 2009年01月15日
要約：
【課題】フィルムマスク等の比較的安価な露光マスクでも高品質な露光製品の生産を短いタクトで実現できるプロキシミティ露光装置を提供すること。【解決手段】マスク(200)と感光基板(300)とを近接させて、前記マスクに形成されたパターンを前記感光基板に露光するプロキシミティ露光装置(2E)であって、前記マスクを密接可能な密接平面(400P)を下面に備えた透明ガラス板(400A)と、前記マスクを前記密接平面に吸着保持するためのマスク吸着保持手段と、前記マスクと前記感光基板との間に微小隙間(D)を形成するように前記透明ガラス板を保持するガラス板保持手段(31A)とを有し、前記マスク吸着保持手段は、前記マスクと前記透明ガラス板と前記ガラス板保持手段とにより形成される密閉空間(401A)を真空吸引する吸引手段(P4)からなることを特徴とする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
マスク(200)と感光基板(300)とを近接させて、前記マスク(200)に形成されたパターンを前記感光基板(300)に露光するプロキシミティ露光装置(2E)であって、 前記マスク(200)を密接可能な密接平面(400P)を下面に備えた透明ガラス板(400A)と、 前記マスク(200)を前記密接平面(400P)に吸着保持するためのマスク吸着保持手段と、 前記マスク(200)と前記感光基板(300)との間に微小隙間(D)を形成するように前記透明ガラス板(400A)を保持するガラス板保持手段(31A)と を有し、 前記マスク吸着保持手段は、前記マスク(200)と前記透明ガラス板(400A)と前記ガラス板保持手段(31A)とにより形成される密閉空間(401A)を真空吸引する吸引手段(P4)からなることを特徴とするプロキシミティ露光装置。
IPC (1件)：
G03F 7/20
FI (1件)：
G03F7/20 501
Fターム (3件)：
2H097BA10 ,  2H097GA45 ,  2H097JA02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (7件)
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