特許
J-GLOBAL ID:200903002617992505
研磨治具および研磨パッド
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-376496
公開番号(公開出願番号):特開2003-266287
出願日: 2002年12月26日
公開日(公表日): 2003年09月24日
要約:
【要約】【課題】 構造が簡単で、レンズの凹面の曲率に応じてドームの曲率を変更するための格別な部品、手段等を設ける必要がなく、小型・軽量化を可能にした研磨治具と、研磨治具への取付け取外し作業が容易で、被研磨面を確実に研磨することができる研磨パッドを提供する。【解決手段】 ゴムによってカップ状に形成された背面側が開放するバルーン部材25と、このバルーン部材25の背面側開口部を気密に閉塞する固定具26と、前記バルーン部材25の内部に流体を導入するバルブ27とで研磨治具9を構成し、バルーン部材25のドーム部25Aの上面にレンズの凹面を研磨する研磨パッド10を取付ける。バルーン部材25をドーム部25Aと、ドーム部25Aの外周より後方に向かって一体に延設された筒部25Bと、係止部28を有する内フランジ25Cとで構成し、内フランジ25Cを内側固定具29と外側固定具30とによって挟持し、内部を密閉空間32とする。
請求項(抜粋):
被研磨面を研磨するために用いられる研磨治具において、弾性材料により背面側が開放するカップ状に形成され、表面側に研磨パッドが取付けられるバルーン部材と、前記バルーン部材の背面側開口部を気密に閉塞する固定具と、前記固定具に設けられ前記バルーン部材の密閉空間に流体を導入するバルブとを備え、前記バルーン部材は、表面が扁平または緩やかな凸曲面からなり前記密閉空間に導入される流体圧によって所定のドーム状に変形されるドーム部と、このドーム部の外周より後方に向かって一体に延設された筒部とを有しており、前記固定具は前記バルーン部材の筒部を保持していることを特徴とする研磨治具。
IPC (2件):
FI (2件):
B24B 13/01
, B24D 17/00 A
Fターム (5件):
3C049AA07
, 3C049AA09
, 3C049AA19
, 3C063AB05
, 3C063EE02
引用特許:
出願人引用 (4件)
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研磨装置及び研磨治具
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-288404
出願人:セイコーエプソン株式会社
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実開昭61-195970号公報
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特開平2-9559号公報
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曲面研磨装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-258431
出願人:富士ゼロックス株式会社
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審査官引用 (8件)
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