特許
J-GLOBAL ID：200903002655664694
X線走査顕微方法及び顕微鏡
出願人/特許権者：
日本電信電話株式会社
, 日本電信電話株式会社 について
エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社 について
代理人 (1件)： 菅 隆彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-299072
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133200
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】点X線源を得る装置の巨大化を避けるため、X線を被測定物に照射するのではなく、X線を空間の1点に集中し、集光(焦点、焦結)位置に被測定物を2軸方向可動自在に配置して透過量を測定するX線走査顕微方法及び顕微鏡の提供。【解決手段】連続的又は周期的にX線を発射するX線発生管1と、ゾーンプレート12と、ゾーンプレート12によって集光されるX線の射出光軸Xoに垂直な面内で2次元的に連続的又は周期間歇的に移動する2軸アクチュエータ15,16と、X線検出管5の信号出力と,被測定物4のX線が透過した位置の情報とにより、被測定物4の2次元の透過X線像を計算する信号制御・処理部13とを具備する特徴
請求項（抜粋）：
X線を空間の1点に集光し、当該集光位置に被測定物を配置して透過X線量を測定し、当該被測定物又は集光位置を2次元的に移動することによる前記測定結果を蓄積計算表示処理して拡大された2次元の透過X線像を得る、ことを特徴とするX線走査顕微方法。
IPC (4件)：
FI (4件)：
引用特許：
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