特許

J-GLOBAL ID：200903002784640386

高解像度用ドライフィルムレジスト用ポリエステルフィルム

発明者： 川口 親和 ,  岩崎 裕司 ,  米田 勇雄
出願人/特許権者： 三菱化学ポリエステルフィルム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-319604
公開番号（公開出願番号）：特開2005-082784
出願日： 2003年09月11日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：

【目的】 フィルム表面に帯電した静電気の放電による災害の防止やベースフィルムの表面にごみやほこりなどが引きつけられ付着するのを防止して、異物付着によるパターン不整を防止し、品質の安定化を図り、かつ平坦なフィルムをロール状に巻きとる際の作業性、易滑性等の加工適正に優れたフィルムを提供する。【構成】 少なくとも片面に、易滑性および帯電防止性の塗布層を有するフィルムであって、当該塗布層表面の平均表面粗さ(Ra)が2nm以上、10nm未満、最大表面粗さ(Rt)が20nm以上、200nm未満であることを特徴とする高解像度用ドライフィルムレジスト用ポリエステルフィルム。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

少なくとも片面に、易滑性および帯電防止性の塗布層を有するフィルムであって、当該塗布層表面の平均表面粗さ(Ra)が2nm以上、10nm未満、最大表面粗さ(Rt)が20nm以上、200nm未満であることを特徴とする高解像度用ドライフィルムレジスト用ポリエステルフィルム。

IPC (3件)：

C08J7/04 ,  B32B27/36 ,  C08J5/18

FI (3件)：

C08J7/04 ,  B32B27/36 ,  C08J5/18

Fターム (37件)：

4F006AA35 ,  4F006AB13 ,  4F006AB24 ,  4F006AB65 ,  4F006AB76 ,  4F006BA07 ,  4F006BA09 ,  4F006CA08 ,  4F006DA04 ,  4F071AA46 ,  4F071AA88 ,  4F071AF28 ,  4F071AF30 ,  4F071AF39 ,  4F071AH13 ,  4F071BA01 ,  4F071BB06 ,  4F071BC01 ,  4F071BC16 ,  4F100AA20 ,  4F100AJ11 ,  4F100AK25 ,  4F100AK36 ,  4F100AK41B ,  4F100BA02 ,  4F100BA07 ,  4F100CA22 ,  4F100EH46A ,  4F100GB41 ,  4F100JG03 ,  4F100JG03A ,  4F100JG04A ,  4F100JK15 ,  4F100JK15A ,  4F100JL02 ,  4F100JN08 ,  4F100YY00A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• フォトレジスト用積層ポリエステルフィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-132000   出願人：ダイアホイルヘキスト株式会社
• 極細線用フォトレジスト用ポリエステルフィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-024197   出願人：東洋紡績株式会社
• 極細線フォトレジスト用積層ポリエステルフィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-297173   出願人：東洋紡績株式会社