圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-366458
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183254
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】ブリッジ回路の出力が故障により変化した場合に、精度よく故障を検出することができる圧力センサを提供する。【解決手段】半導体基板には複数の薄肉部14、15が形成されており、第1の薄肉部14に設けられ、圧力に応じて電気信号を出力する圧力検出用回路と、第2の薄肉部15に設けられ、圧力検出用回路に比較して高い感度で圧力に応じて電気信号を出力する故障検出用回路と、圧力検出用回路と故障検出用回路の各出力に基づいて圧力検出用回路の故障判定を行う故障判定手段28とを備えている。第2の薄肉部15の面積を第1の薄肉部14より大きくするか、あるいは第2の薄肉部15の厚みを第1の薄肉部14より薄くすることで、故障検出用回路の方が高感度になるように構成することができる。

請求項（抜粋）：

複数の薄肉部(14、15)が形成された半導体基板(10、30)と、第1の前記薄肉部(14)に設けられ、圧力に応じて電気信号を出力する圧力検出用回路と、第2の前記薄肉部(15)に設けられ、前記圧力検出用回路に比較して高い感度で圧力に応じて電気信号を出力する故障検出用回路と、前記圧力検出用回路と前記故障検出用回路の各出力に基づいて前記圧力検出用回路の故障判定を行う故障判定手段(28)とを備えていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 27/00 , G01L 9/00

FI (2件)：

G01L 27/00 , G01L 9/00 Z

Fターム (8件)：

2F055AA21 , 2F055BB12 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055EE15 , 2F055GG15 , 2F055HH01

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-037503
集積化圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-249434 出願人：株式会社フジクラ
センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-507077 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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審査官引用 (7件)

特開平3-037503
センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-507077 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
半導体圧力センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-216940 出願人：山武ハネウエル株式会社

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