特許
J-GLOBAL ID：200903002889940652
レーザ加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中澤 昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-133589
公開番号（公開出願番号）：特開平10-323787
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】 レーザ加工装置によって被加工物にマーキングされた穴は、ガウシアンビーム形状となり、斜め方向からの視認性が悪かった。このような不具合を解消した光学系は、被加工物を移動させるマーキングには適用することができた。しかしfθレンズを用いた走査光学系には適用することができなかった。【解決手段】 所望のビーム系に変換されたレーザビームが、空間変調素子3によって強度分布が矩形状に変換されるようにする。空間変調素子3は、回析光の高次次数への光量を多く分配した位相板とする。位相板の空間変調素子3は、格子の位相深さとピッチとの比が1.44ラディアン近傍とする。
請求項（抜粋）：
レーザ光を出射するレーザ光源と、そのレーザ光源から出射されたレーザ光を所望のビーム径に変換するレーザ光整形手段と、そのレーザ光整形手段によって変換されたレーザ光の強度分布を矩形状に変換する空間変調素子と、その空間変調素子によって変換されたレーザ光を被加工物上に走査させる走査光学系と、を有することを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (6件)：
B23K 26/06
, B23K 26/00
, G02B 5/18
, G02B 5/30
, G02B 27/09
, H01S 3/00
B23K 26/06 E
, B23K 26/00 B
, G02B 5/18
, G02B 5/30
, H01S 3/00 B
, G02B 27/00 E
